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AES介紹

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AES基本原理


      俄歇電子能譜(AES)是一種利用俄歇效應進行成分分析的表面分析技術,通過檢測樣品表面逃逸出的俄歇電子的能量和數(shù)量,達到對樣品表面元素組成的定性和半定量分析。俄歇電子能譜是除XPS之外的另一種重要的表面成分分析方法,廣泛地應用于化學和物理研究領域以及半導體、電子、冶金等生產行業(yè)。

圖片1AES.png





入射電子束和樣品原子作用,可以激發(fā)出原子的內層電子而形成空穴。在外層電子會向內層躍遷過程中會釋放出能量,這一能量將核外另一軌道的電子激發(fā)而形成自由電子的現(xiàn)象被稱為俄歇效應。俄歇電子的能量具有元素特征性,利用這一特性可以對樣品組成進行分析。

圖片4.png

AES設備介紹及工作模式

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image.png


儀器能力         

                獲得的信息:元素(Li~U)

                采集深度:5-75?

                空間分辨率:8nm

                成分檢出限:0.1at%

                深度剖析:具備 (Ar+ gun)

                定量能力:半定量


圖片122.png圖片123.png圖片124.png圖片125.png圖片126.png

AES基本應用

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 材料表面微小污染物成分分析 (Micro contaminant analysis on solid surface)

 材料表面微/納米級膜層成分及厚度表征 (μm/nm coating layer composition and thickness analysis)

 器件微區(qū)域的成分表征 (Micro area composition characterization)

 多層薄膜層深分布的表征 (Multi-layers depth profile analysis)


AES應用示例

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AES111_副本.png


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